A miniaturized laser scanner in LIGA technology (Mils)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170052113 |
| HGF-Programm | 41.07.01 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 312-15 |
| Erscheinungsvermerk | Borgmann, H. [Hrsg.] Actuator 2002 : 8th Internat.Conf.on New Actuators and 2nd Internat.Exhibition on Smart Actuators and Drive Systems, Bremen, June 10-12, 2002 ; Conf.Proc. Bremen : Messe Bremen GmbH, 2002 |