Laser micromachining of polymeric mold inserts or rapid prototyping of PMMA-devices via photomolding
Pfleging, W.
; Hanemann, T.; Bernauer, W.; Torge, M.
; Hanemann, T.; Bernauer, W.; Torge, M.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170052359 |
| HGF-Programm | 41.01.02 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 318-29 |
| Erscheinungsvermerk | Sugioka, K. [Hrsg.] Photon Processing in Microelectronics and Photonics, San Jose, Calif., January 21-23, 2002 Bellingham, Wash. : SPIE, 2002 (SPIE Proceedings Series ; 4637) |