X-ray lens with kinoform refractive profile created by X-ray lithography

Shabelnikov, L.; Nazmov, V.; Pantenburg, F. J.; Mohr, J.; Saile, V.; Yunkin, V.; Kouznetsov, S.; Pindyurin, V.; Snigireva, I.; Snigirev, A.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	2002
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 170052401
HGF-Programm	41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Seiten	176-84
Erscheinungsvermerk	Mancini, D.C. [Hrsg.] Design and Microfabrication of Novel X-Ray Optics : Proc.of SPIE's 47th Annual Meeting, Internat.Symp.on Optical Science and Technology, Seattle, Wash., July 7-11, 2002 Bellingham, Wash : SPIE, 2002 (SPIE Proceedings Series ; 4783)