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Characterization of a micro optical distance sensor

Wallrabe, U.; Hollenbach, U.; Krippner, P.; Mohr, J.; Oka, T.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 2002
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 170052624
HGF-Programm 41.08.01 (Vor POF, LK 01)
Seiten 29-30
Erscheinungsvermerk 2002 IEEE/LEOS Internat.Conf.on Optical MEMS,Lugano, CH, August 20-23, 2002 Conference Digest New York, N.Y. : IEEE, 2002
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