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Cut it out. Shaping the micrometer

Schaller, T.; Pfleging, W.; Hlavac, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Mikrotechnologie (MIKRO)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 170054412
HGF-Programm 41.98.02; LK 01
Seiten 8-13
Erscheinungsvermerk Machines and Processes for Micro-Scale and Meso-Scale Fabrication, Metrology and Assembly : Proc.of 2003 ASPE Winter Topical Meeting, Gainesville, Fla., January 22-23, 2003 Raleigh, N.C. : ASPE, 2003
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