Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2003 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 3-8007-2791-9 KITopen-ID: 170054518 |
HGF-Programm | 41.07.01 (Vor POF, LK 01) |
Seiten | 529-34 |
Erscheinungsvermerk | MICRO.tec 2003 : Applications - Trends - Visions ; Proc.of the 2nd VDE World Microtechnologies Congress, München, October 13-15, 2003 Berlin [u.a.] : VDE Verl.GmbH, 2003 Incl.CD-ROM |