Construction kit for microoptical systems on the basis of microoptical benches
Sieber, I.
; Gengenbach, U.; Hofmann, A.
; Gengenbach, U.; Hofmann, A.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Informatik (IAI) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170054814 |
| HGF-Programm | 41.08.02 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 84-89 |
| Erscheinungsvermerk | Bergman, K. [Hrsg.] DTIP 2003 : Symp.on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, Cannes, F, May 5-7, 2003 New York, N.Y. : IEEE, 2003 |