KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Construction kit for microoptical systems on the basis of microoptical benches

Sieber, I. ORCID iD icon; Gengenbach, U.; Hofmann, A. ORCID iD icon


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 170054814
HGF-Programm 41.08.02 (Vor POF, LK 01)
Seiten 84-89
Erscheinungsvermerk Bergman, K. [Hrsg.] DTIP 2003 : Symp.on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, Cannes, F, May 5-7, 2003 New York, N.Y. : IEEE, 2003
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page