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LIGA and AMANDA technologies for the fabrication of advanced micro-devices

Bacher, W.; Saile, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 170054979
HGF-Programm 41.01.01; LK 01
Erscheinungsvermerk 2003 JSME-IPP/ASME-ISPS Joint Conf.on Micromechatronics for Information and Precision Equipment, Yokohama, J, June 16-18, 2003 Proc.S.133-37 Vortr.: Tohoku University, Sendai, J, 19.Juni 2003
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