LIGA and AMANDA technologies for the fabrication of advanced micro-devices
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170054979 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 2003 JSME-IPP/ASME-ISPS Joint Conf.on Micromechatronics for Information and Precision Equipment, Yokohama, J, June 16-18, 2003 Proc.S.133-37 Vortr.: Tohoku University, Sendai, J, 19.Juni 2003 |