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Modulare Mikroverfahrenstechnik - Zukunftsfeld für integrierte Sensoren

Dietrich, T.R.; Rinke, G.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2003
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 170054989
HGF-Programm 41.07.02; LK 01
Erscheinungsvermerk Modulare Mikrosensorik : 2.Statusseminar, ürzburg, 3.Juli 2003 Göttingen : AMA Fachverband für Sensorik, 2003
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