Requirements on the modeling and simulation of microsystems technology processes
Bittner, K.; Dickerhof, M.; Binnig, C.; Schmidt, A.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Informatik (IAI) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170055637 |
| HGF-Programm | 41.01.07 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 10-20 |
| Erscheinungsvermerk | Ahmad, M. [Hrsg.] FAIM 2003 : Proc.of the 13th Internat.Conf.on Flexible Automation and Intelligent manufacturing, Tampa, Fla., June 9-11, 2003 Tampa, University of South Florida, 2003 |