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Requirements on the modeling and simulation of microsystems technology processes

Bittner, K.; Dickerhof, M.; Binnig, C.; Schmidt, A.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 170055637
HGF-Programm 41.01.07; LK 01
Seiten 10-20
Erscheinungsvermerk Ahmad, M. [Hrsg.] FAIM 2003 : Proc.of the 13th Internat.Conf.on Flexible Automation and Intelligent manufacturing, Tampa, Fla., June 9-11, 2003 Tampa, University of South Florida, 2003
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