Zugehörige Institution(en) am KIT | Mikrotechnologie (MIKRO) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2004 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 170055687 |
HGF-Programm | 41.98.00 (POF I, LK 01) |
Seiten | 13-41 |
Erscheinungsvermerk | Nano- und Mikrotechnik : Eine Technologie zieht Kreise ; Veranstaltungsreihe der IHK Karlsruhe, 16.,22.-23.30.Oktober und 4.,11.13.November 2003 Tagungsband Stuttgart : Baden-Württembergischer Industrie- und Handelskammertag, 2004 |