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Lateral inhomogeneity of gas permeable Al₂O₃ or SiO₂ coatings as a tunig tool for the gas analytical performance of gradient microarrays

Goschnick, J.; Frietsch, M.; Kiselev, I.; Kusnadi, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 3-8007-2791-9
KITopen ID: 170055702
HGF-Programm 41.06.01; LK 01
Seiten 577-82
Erscheinungsvermerk MICRO.tec 2003 : Applications - Trends - Visions ; Proc.of the 2nd VDE World Microtechnologies Congress, München, October 13-15, 2003 Berlin [u.a.] : VDE Verl.GmbH, 2003 Incl.CD-ROM
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