Manufacturing line for the distributed fabrication of modular microoptical systems
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 3-8007-2791-9 KITopen-ID: 170055741 |
| HGF-Programm | 41.08.01 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 195-99 |
| Erscheinungsvermerk | MICRO.tec 2003 : Applications - Trends - Visions ; Proc.of the 2nd VDE World Microtechnologies Congress, München, October 13-15, 2003 Berlin [u.a.] : VDE Verl.GmbH, 2003 Incl.CD-ROM |