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Flow-sensor from polymer fabricated with the AMANDA-process

Ahrens, R.; Dittmann, D.; Rummler, Z.; Schlote-Holubek, K.; Schomburg, W.K.; Shao, P.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 3-7723-7020-9
KITopen ID: 170055742
HGF-Programm 41.09.01; LK 01
Seiten 312-19
Erscheinungsvermerk Reichl, H. [Hrsg.] MICRO SYSTEM Technologies 2003 : Internat.Conf.and Exhibition on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components, München, October 7-8, 2003 Poing : Franzis Verl., 2003 Incl.CD-ROM
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