Flow-sensor from polymer fabricated with the AMANDA-process

Ahrens, R.; Dittmann, D.; Rummler, Z.; Schlote-Holubek, K.; Schomburg, W. K.; Shao, P.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	2003
Sprache	Englisch
Identifikator	ISBN: 3-7723-7020-9 KITopen-ID: 170055742
HGF-Programm	41.09.01 (Vor POF, LK 01)
Seiten	312-19
Erscheinungsvermerk	Reichl, H. [Hrsg.] MICRO SYSTEM Technologies 2003 : Internat.Conf.and Exhibition on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components, München, October 7-8, 2003 Poing : Franzis Verl., 2003 Incl.CD-ROM