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Ensuring reliability and repeatability in deep x-ray LIGA process - state of standardization

Meyer, P.; Schulz, J.; Bade, K.; Janssen, A.; Thelen, R.; Hahn, L.; Lange, J.; Arendt, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 3-8007-2791-9
KITopen ID: 170055915
HGF-Programm 41.01.01; LK 01
Seiten 53-58
Erscheinungsvermerk MICRO.tec 2003 : Applications - Trends - Visions ; Proc.of the 2nd VDE World Microtechnologies Congress, München, October 13-15, 2003 Berlin [u.a.] : VDE Verl.GmbH, 2003 Incl.CD-ROM
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