Ensuring reliability and repeatability in deep x-ray LIGA process - state of standardization

; Janssen, A.; Thelen, R.; Hahn, L.; Lange, J.; Arendt, M.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	2003
Sprache	Englisch
Identifikator	ISBN: 3-8007-2791-9 KITopen-ID: 170055915
HGF-Programm	41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Seiten	53-58
Erscheinungsvermerk	MICRO.tec 2003 : Applications - Trends - Visions ; Proc.of the 2nd VDE World Microtechnologies Congress, München, October 13-15, 2003 Berlin [u.a.] : VDE Verl.GmbH, 2003 Incl.CD-ROM