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High frequency suitability of soft magnetic FeTaN and FeCoTaN films for advanced CMOS-fabricated micro inductors

Seemann, K.; Leiste, H.; Bekker, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 3-8007-2791-9
KITopen ID: 170055921
HGF-Programm 41.03.02; LK 01
Seiten 637-41
Erscheinungsvermerk MICRO.tec 2003 : Applications - Trends - Visions ; Proc.of the 2nd VDE World Microtechnologies Congress, München, October 13-15, 2003 Berlin [u.a.] : VDE Verl.GmbH, 2003 Incl.CD-ROM
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