High frequency suitability of soft magnetic FeTaN and FeCoTaN films for advanced CMOS-fabricated micro inductors
Seemann, K.
; Leiste, H.; Bekker, V.
; Leiste, H.; Bekker, V.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 3-8007-2791-9 KITopen-ID: 170055921 |
| HGF-Programm | 41.03.02 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 637-41 |
| Erscheinungsvermerk | MICRO.tec 2003 : Applications - Trends - Visions ; Proc.of the 2nd VDE World Microtechnologies Congress, München, October 13-15, 2003 Berlin [u.a.] : VDE Verl.GmbH, 2003 Incl.CD-ROM |