Materials, technology and reliability for advanced interconnects and low-k dielectrics - 2003
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Proceedingsband |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 1-55899-703-2 KITopen-ID: 170056101 |
| HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Warrendale, Pa. : Materials Research Society, 2003 (Materials Research Society Symposium Proceedings ; 766) |