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Feasibility study of the fabrication of 2D polymer photonic crystals by X-ray lithography

Kando, J.; Achenbach, S.; Fettig, R.; Mohr, J.; Wallrabe, U.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 170056277
HGF-Programm 41.08.01 (Vor POF, LK 01)
Seiten 279-86
Erscheinungsvermerk Knobloch, H. [Hrsg.] MicroNano Integration : Internat.Forum on MicroNano Integration MINIT, Potsdam, December 3-4, 2003 Berlin [u.a.] : Springer, 2003
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