Feasibility study of the fabrication of 2D polymer photonic crystals by X-ray lithography
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170056277 |
| HGF-Programm | 41.08.01 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 279-86 |
| Erscheinungsvermerk | Knobloch, H. [Hrsg.] MicroNano Integration : Internat.Forum on MicroNano Integration MINIT, Potsdam, December 3-4, 2003 Berlin [u.a.] : Springer, 2003 |