KIT | KIT-Bibliothek | Impressum

Feasibility study of the fabrication of 2D polymer photonic crystals by X-ray lithography

Kando, J.; Achenbach, S.; Fettig, R.; Mohr, J.; Wallrabe, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 170056277
HGF-Programm 41.08.01; LK 01
Seiten 279-86
Erscheinungsvermerk Knobloch, H. [Hrsg.] MicroNano Integration : Internat.Forum on MicroNano Integration MINIT, Potsdam, December 3-4, 2003 Berlin [u.a.] : Springer, 2003
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page