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Hot embossing - a flexible and successful replication technology for polymer MEMS

Heckele, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 170057053
HGF-Programm 41.02.01 (POF I, LK 01)
Seiten 108-17
Erscheinungsvermerk Woias, P. [Hrsg.] Microfluidics, BioMEMS, and Medical Microsystems II : Proc.of the Conf., San Jose, Calif., January 26-27, 2004 Bellingham, Wash. : SPIE, 2004 (SPIE Proceedings Series ; 5345)
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