Hot embossing - a flexible and successful replication technology for polymer MEMS
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170057053 |
| HGF-Programm | 41.02.01 (POF I, LK 01) Pulvermetallurgie und Keramik |
| Seiten | 108-17 |
| Erscheinungsvermerk | Woias, P. [Hrsg.] Microfluidics, BioMEMS, and Medical Microsystems II : Proc.of the Conf., San Jose, Calif., January 26-27, 2004 Bellingham, Wash. : SPIE, 2004 (SPIE Proceedings Series ; 5345) |