Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2004 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 170057377 |
HGF-Programm | 41.09.01 (POF I, LK 01) Fluidische Systeme |
Seiten | 288-91 |
Erscheinungsvermerk | The 17th IEEE Internat.Conf.on Micro Electro Mechanical Systems, Maastricht, NL, January 25-29, 2004 Technical Digest New York, N.Y. : IEEE, 2004 |