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Shape memory micromechanisms for microvalve applications

Kohl, M.; Popp, M.; Krevet, B.


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1117/12.539490
Dimensions
Zitationen: 4
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 170057900
HGF-Programm 41.01.05 (POF I, LK 01) Membrantechnologie
Seiten 106-17
Erscheinungsvermerk Lagoudas, D.C. [Hrsg.] Smart Structures and Materials 2004 : Active Materials: Behavior and Mechanics ; Proc.of the 11th Annual Internat.Symp., San Diego, Calif., March 14-18, 2004 Bellingham, Wash. : SPIE, 2004 (SPIE Proceedings Series ; 5387)
Nachgewiesen in Dimensions
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