Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2004 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 3-7723-7020-9 KITopen-ID: 170058212 |
HGF-Programm | 41.01.04 (POF I, LK 01) Metallabscheidung |
Seiten | 273-80 |
Erscheinungsvermerk | Reichl, H. [Hrsg.] MICRO SYSTEM Technologies 2003 : Internat.Conf.and Exhibition on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components, München, October 7-8, 2003 Poing : Franzis Verl., 2003 Incl.CD-ROM |