Mikrotechnologie
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170058550 |
| HGF-Programm | 41.04.01 (POF I, LK 01) Nachrichtentechnik |
| Seiten | 45-65 |
| Erscheinungsvermerk | Nano- und Mikrotechnik : Eine Technologie zieht Kreise ; Veranstaltungsreihe der IHK Karlsruhe, 16.,22.-23.30.Oktober und 4.,11.13.November 2003 Tagungsband Stuttgart : Baden-Württembergischer Industrie- und Handelskammertag, 2004 |