The German initiative to commercialize the LIGA technology. A LIGA fabrication line at ANKA
Meyer, P.
; Janssen, A.; Maas, D.; Saile, V.; Schulz, J.
; Janssen, A.; Maas, D.; Saile, V.; Schulz, J.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170058859 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (POF I, LK 01) LITHOGRAPHIE |
| Seiten | 142-46 |
| Erscheinungsvermerk | Proc.of the 9th Internat.Conf.on the Commerzialization of Micro and Nano Systems (COMS 2004), Edmonton, CDN, August 29 - September 2, 2004 Albuquerque, N.M.: MANCEF, 2004 |