Neue Halterungstechnik für Silizium-Wafer und Kupfer-Substrate in der Mikrogalvanoformung

; Matthis, B.; Schulz, J.

; Moritz, H.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	2004
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 170058900
HGF-Programm	41.01.01 (POF I, LK 01) LITHOGRAPHIE
Seiten	301-06
Erscheinungsvermerk	42.Jahrestagung der Deutschen Gesellschaft für Galvano- und Oberflächentechnik (DGO), Dresden, 22.-24.September 2004 Proc.