Neue Halterungstechnik für Silizium-Wafer und Kupfer-Substrate in der Mikrogalvanoformung
Guttmann, M.
; Bade, K.
; Matthis, B.; Schulz, J.
; Moritz, H.
; Bade, K.
; Matthis, B.; Schulz, J.
; Moritz, H.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170058900 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (POF I, LK 01) LITHOGRAPHIE |
| Seiten | 301-06 |
| Erscheinungsvermerk | 42.Jahrestagung der Deutschen Gesellschaft für Galvano- und Oberflächentechnik (DGO), Dresden, 22.-24.September 2004 Proc. |