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Synthesis of nanoparticulate SiC in a low temperature microwave plasma process

Schlabach, S.; Szabo, D.V.; Shi, Z.; Wang, D.; Vollath, D.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 3-18-091839-X
KITopen ID: 170059389
HGF-Programm 42.03.10; LK 01
Seiten 167-70
Erscheinungsvermerk Nanofair 2004 : New Ideas for Industry ; Internat.Symp., Karlsruhe, 23.-24.November 2004 (Poster) Düsseldorf : VDI-Verl., 2004 (VDI-Berichte ; 1839)
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