Synthesis of nanoparticulate SiC in a low temperature microwave plasma process

Schlabach, S.; Szabo, D.V.; Shi, Z.; Wang, D.; Vollath, D.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Jahr	2004
Sprache	Englisch
Identifikator	ISBN: 3-18-091839-X KITopen-ID: 170059389
HGF-Programm	42.03.10 (POF I, LK 01)
Seiten	167-70
Erscheinungsvermerk	Nanofair 2004 : New Ideas for Industry ; Internat.Symp., Karlsruhe, 23.-24.November 2004 (Poster) Düsseldorf : VDI-Verl., 2004 (VDI-Berichte ; 1839)