Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2005 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 170060917 |
HGF-Programm | 41.01.02 (POF I, LK 01) Laser-u.mechanische Mikrostrukturierung |
Seiten | 479-88 |
Erscheinungsvermerk | Fieret, J. [Hrsg.] Photon Processing in Microelectronics and Photonics IV : Proc.of Photonics West: Lasers and Applications in Science and Engineering, San Jose, Calif., January 22-27, 2005 Bellingham, Wash. : SPIE, 2005 (SPIE Proceedings Series ; 5713) |