Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2005 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 2-84813-0357-1 KITopen-ID: 170061166 |
HGF-Programm | 41.01.05 (POF I, LK 01) Membrantechnologie |
Seiten | 283-85 |
Erscheinungsvermerk | Courtois, B. [Hrsg.] DTIP 2005 : Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS ; Proc.of the Symp., Montreux, CH, June 1-3, 2005 Grenoble : TIMA Labs., 2005 |