Mixed technologies for gas sensors microfabrication

Moldovan, C.; Sosin, S.; Kaufmann, U.; Ritzhaupt-Kleissl, H. J.; Dimov, S.; Petkov, P.; Dorey, R.; Person, K.; Gomez, D.; Johander, P.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	2005
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 170061459
HGF-Programm	41.98.02 (POF I, LK 01) Industrieforum FIF
Seiten	211-18
Erscheinungsvermerk	Menz, W. [Hrsg.] 4M2005 : Proc.of the 1st Internat.Conf.on Multi-Material Micro Manufacture, Karlsruhe, June 29 - July 1, 2005 Amsterdam [u.a.] : Elsevier, 2005