Confocal micro optical sensor for quality control in industrial production
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2005 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170061875 |
| HGF-Programm | 41.04.01 (POF I, LK 01) Nachrichtentechnik |
| Seiten | 639-41 |
| Erscheinungsvermerk | Commercialization of Micro and Nano Systems (COMS 2005) : 10th Internat.Conf., Baden-Baden, August 21-25, 2005 Albuquerque, N.M. : MANCEF, 2005 Auch auf CD-ROM |