KIT | KIT-Bibliothek | Impressum

Confocal micro optical sensor for quality control in industrial production

Lücke, P.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 170061875
HGF-Programm 41.04.01; LK 01
Seiten 639-41
Erscheinungsvermerk Commercialization of Micro and Nano Systems (COMS 2005) : 10th Internat.Conf., Baden-Baden, August 21-25, 2005 Albuquerque, N.M. : MANCEF, 2005 Auch auf CD-ROM
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page