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POLYMICRO - a virtual European center for the industry

Tschulena, G.; Mohr, J.; Rabus, D. G.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 170062071
HGF-Programm 41.04.01 (POF I, LK 01) Nachrichtentechnik
Seiten 107-10
Erscheinungsvermerk Commercialization of Micro and Nano Systems (COMS 2005) : 10th Internat.Conf., Baden-Baden, August 21-25, 2005 Albuquerque, N.M. : MANCEF, 2005 Auch auf CD-ROM
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