Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Informatik (IAI) Nano- und Mikrosysteme (NANOMIKRO) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2005 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 170062072 |
HGF-Programm | 41.01.07 (POF I, LK 01) Mikrohandhabung + AVT |
Seiten | 165-74 |
Erscheinungsvermerk | Commercialization of Micro and Nano Systems (COMS 2005) : 10th Internat.Conf., Baden-Baden, August 21-25, 2005 Albuquerque, N.M. : MANCEF, 2005 Auch auf CD-ROM |