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Standards for hybrid microsystems production equipment

Gengenbach, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 170062075
HGF-Programm 41.01.07; LK 01
Seiten 291-94
Erscheinungsvermerk Commercialization of Micro and Nano Systems (COMS 2005) : 10th Internat.Conf., Baden-Baden, August 21-25, 2005 Albuquerque, N.M. : MANCEF, 2005 Auch auf CD-ROM
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