Depth profiling of mechanical properties on the nanoscale of single-layer and stepwise graded DLC films by nanoindentation and AFM
Ziebert, C.
; Ulrich, S.; Stüber, M.
; Ulrich, S.; Stüber, M.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2005 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 1-55899-829-2 KITopen-ID: 170062107 |
| HGF-Programm | 42.02.02 (POF I, LK 01) Nanoskalige Schichtsysteme u.Oberflächen |
| Erscheinungsvermerk | Buchheit, T. [Hrsg.] Thin Films and Interfaces : Materials Characterization - Metals and Alloys ; Proc.of Symp O of MRS Spring Meeting 2005, San Francisco, Calif., March 28 - April 1, 2005 Warrendale, Pa. : MRS, 2005 O3.11.1/BB2.11.1 (Materials Research Society Symposium Proceedings ; 875) |