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Depth profiling of mechanical properties on the nanoscale of single-layer and stepwise graded DLC films by nanoindentation and AFM

Ziebert, C.; Ulrich, S.; Stüber, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 1-55899-829-2
KITopen ID: 170062107
HGF-Programm 42.02.02; LK 01
Erscheinungsvermerk Buchheit, T. [Hrsg.] Thin Films and Interfaces : Materials Characterization - Metals and Alloys ; Proc.of Symp O of MRS Spring Meeting 2005, San Francisco, Calif., March 28 - April 1, 2005 Warrendale, Pa. : MRS, 2005 O3.11.1/BB2.11.1 (Materials Research Society Symposium Proceedings ; 875)
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