| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Werkstoff- und Biomechanik (IMF2) (IMF2) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2005 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 3-7723-7040-3 KITopen-ID: 170062215 |
| HGF-Programm | 41.02.03 (POF I, LK 01) Zuverlässigkeit, Werkstoffprüfung |
| Seiten | 200-06 |
| Erscheinungsvermerk | Reichl, H. [Hrsg.] Micro System Technologies 2005 : Internat.Conf.and Exhibition on Micro-, Electro-Mechanical, Opto and Nano Systems, München, October 5-6, 2005 Poing : Franzis Verl., 2005 Inkl.CD-ROM |