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Verwertung der Ergebnisse des Projektes Micro-P-PIM

Pannhorst, J.; Baumgärtner, F.; Maetzig, M.; Mayer, H.; Ruprecht, R.; Thürigen, Ch.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2005
Sprache Deutsch
Identifikator ISBN: 3-8007-2926-1
KITopen ID: 170062243
HGF-Programm 41.02.01; LK 01
Seiten 259-60
Erscheinungsvermerk Mikrosystemtechnik Kongress 2005, Freiburg, 10.-12.Oktober 2005 Berlin [u.a.] : VDE Verl., 2005 Inkl.CD-ROM
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