Mikro-Heißstanzen. Erzeugung von Durchlochstrukturen

Rapp, B.; Worgull, M.; Heckele, M.; Guber, A.; Herrmann, D.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	2005
Sprache	Deutsch
Identifikator	ISBN: 3-8007-2926-1 KITopen-ID: 170062367
HGF-Programm	41.05.03 (POF I, LK 01) Bioanalytik im Chipformat
Seiten	367-70
Erscheinungsvermerk	Mikrosystemtechnik Kongress 2005, Freiburg, 10.-12.Oktober 2005 Berlin [u.a.] : VDE Verl., 2005 Inkl.CD-ROM