Neuartiges Konzept der ultraschallunterstützten Reinigung von mikrostrukturierten Abformwerkzeugen
Guttmann, M.
; Winkler, F.; Laier, R.; Schulz, J.
; Nold, E.; Hielscher, G.
; Winkler, F.; Laier, R.; Schulz, J.
; Nold, E.; Hielscher, G.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2005 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | ISBN: 3-8007-2926-1 KITopen-ID: 170062369 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (POF I, LK 01) LITHOGRAPHIE |
| Seiten | 551-54 |
| Erscheinungsvermerk | Mikrosystemtechnik Kongress, Freiburg, 10.-12.Oktober 2005 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 2005 inkl.CD-ROM |