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Neuartiges Konzept der ultraschallunterstützten Reinigung von mikrostrukturierten Abformwerkzeugen

Guttmann, M.; Winkler, F.; Laier, R.; Schulz, J.; Nold, E.; Hielscher, G.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2005
Sprache Deutsch
Identifikator ISBN: 3-8007-2926-1
KITopen ID: 170062369
HGF-Programm 41.01.01; LK 01
Seiten 551-54
Erscheinungsvermerk Mikrosystemtechnik Kongress, Freiburg, 10.-12.Oktober 2005 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 2005 inkl.CD-ROM
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