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Vereinfachtes Handling von Substraten in der Mikrogalvanoformung und der Ätztechnik

Guttmann, M.; Bade, K. ORCID iD icon; Matthis, B.; Moritz, H.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 2005
Sprache Deutsch
Identifikator ISBN: 3-8007-2926-1
KITopen-ID: 170062370
HGF-Programm 41.01.04 (POF I, LK 01) Metallabscheidung
Seiten 573-76
Erscheinungsvermerk Mikrosystemtechnik Kongress, Freiburg, 10.-12.Oktober 2005 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 2005 inkl.CD-ROM
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