Vereinfachtes Handling von Substraten in der Mikrogalvanoformung und der Ätztechnik

; Matthis, B.; Moritz, H.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	2005
Sprache	Deutsch
Identifikator	ISBN: 3-8007-2926-1 KITopen-ID: 170062370
HGF-Programm	41.01.04 (POF I, LK 01) Metallabscheidung
Seiten	573-76
Erscheinungsvermerk	Mikrosystemtechnik Kongress, Freiburg, 10.-12.Oktober 2005 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 2005 inkl.CD-ROM