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Keramische Komponenten für die Mikroverfahrenstechnik

Knitter, R.; Alm, B.; Haußelt, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 2005
Sprache Deutsch
Identifikator ISBN: 3-8007-2926-1
KITopen-ID: 170062673
HGF-Programm 41.03.02 (POF I, LK 01) Mikrostrukturapparate
Seiten 815-18
Erscheinungsvermerk Mikrosystemtechnik Kongress 2005, Freiburg, 10.-12.Oktober 2005 Berlin [u.a.] : VDE Verl., 2005 Inkl.CD-ROM
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