Neuartiges Konzept der ultraschallunterstützten Reinigung von mikrostrukturierten Abformwerkzeugen

; Winkler, F.; Laier, R.; Schulz, J.

; Hielscher, G.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	2005
Sprache	Deutsch
Identifikator	ISBN: 3-8007-2926-1 KITopen-ID: 170062772
HGF-Programm	41.01.04 (POF I, LK 01) Metallabscheidung
Seiten	551-54
Erscheinungsvermerk	Mikrosystemtechnik Kongress 2005, Freiburg, 10.-12.Oktober 2005 Berlin [u.a.] : VDE Verl., 2005 Inkl.CD-ROM