KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Neuartiges Konzept der ultraschallunterstützten Reinigung von mikrostrukturierten Abformwerkzeugen

Guttmann, M.; Winkler, F.; Laier, R.; Schulz, J. ORCID iD icon; Hielscher, G.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 2005
Sprache Deutsch
Identifikator ISBN: 3-8007-2926-1
KITopen-ID: 170062772
HGF-Programm 41.01.04 (POF I, LK 01) Metallabscheidung
Seiten 551-54
Erscheinungsvermerk Mikrosystemtechnik Kongress 2005, Freiburg, 10.-12.Oktober 2005 Berlin [u.a.] : VDE Verl., 2005 Inkl.CD-ROM
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page