Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2005 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | ISBN: 3-8007-2926-1 KITopen-ID: 170062772 |
HGF-Programm | 41.01.04 (POF I, LK 01) Metallabscheidung |
Seiten | 551-54 |
Erscheinungsvermerk | Mikrosystemtechnik Kongress 2005, Freiburg, 10.-12.Oktober 2005 Berlin [u.a.] : VDE Verl., 2005 Inkl.CD-ROM |