Design for manufacturing of a microoptical distance sensor
Sieber, I.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Informatik (IAI) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2005 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 3-7723-7040-3 KITopen-ID: 170062790 |
| HGF-Programm | 41.04.01 (POF I, LK 01) Nachrichtentechnik |
| Seiten | 508-15 |
| Erscheinungsvermerk | Reichl, H. [Hrsg.] Micro System Technologies 2005 : Internat.Conf.and Exhibition on Micro-, Electro-Mechanical, Opto and Nano Systems, München, October 5-6, 2005 Poing : Franzis Verl., 2005 Inkl.CD-ROM |