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Design for manufacturing of a microoptical distance sensor

Sieber, I.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 3-7723-7040-3
KITopen ID: 170062790
HGF-Programm 41.04.01; LK 01
Seiten 508-15
Erscheinungsvermerk Reichl, H. [Hrsg.] Micro System Technologies 2005 : Internat.Conf.and Exhibition on Micro-, Electro-Mechanical, Opto and Nano Systems, München, October 5-6, 2005 Poing : Franzis Verl., 2005 Inkl.CD-ROM
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