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Ferromagnetic shape memory actuator for large 2D optical scanning

Kohl, M.; Brugger, D.; Krevet, B.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2006
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 0-7803-9475-5
KITopen ID: 170063620
HGF-Programm 43.01.06; LK 01
Seiten 794-97
Erscheinungsvermerk 19th IEEE Internat.Conf.on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2006), Istanbul, TR, January 22-26, 2006 Technical Digest Piscataway, N.J. : IEEE, 2006
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