Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2006 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 0-7803-9475-5 KITopen-ID: 170063620 |
HGF-Programm | 43.01.06 (POF I, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien |
Seiten | 794-97 |
Erscheinungsvermerk | 19th IEEE Internat.Conf.on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2006), Istanbul, TR, January 22-26, 2006 Technical Digest Piscataway, N.J. : IEEE, 2006 |