| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2006 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170064735 |
| HGF-Programm | 43.01.03 (POF I, LK 01) Replikation |
| Seiten | 45-48 |
| Erscheinungsvermerk | Dornbirner Mikrotechniktage 2006 : Technologie, Verfahren und Anwendungen der Mikrotechnik, Dornbirn, 30.Mai - 1.Juni 2006 Tagungsband Dornbirn : Fachhochschule Vorarlberg, 2006 |