Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2006 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 170064735 |
HGF-Programm | 43.01.03 (POF I, LK 01) Replikation |
Seiten | 45-48 |
Erscheinungsvermerk | Dornbirner Mikrotechniktage 2006 : Technologie, Verfahren und Anwendungen der Mikrotechnik, Dornbirn, 30.Mai - 1.Juni 2006 Tagungsband Dornbirn : Fachhochschule Vorarlberg, 2006 |