Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2006 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 170064737 |
HGF-Programm | 43.01.01 (POF I, LK 01) Lithographie |
Seiten | 442-45 |
Erscheinungsvermerk | Genco, A. [Hrsg.] 4th Internat.Industrial Simulation Conf. (ISC'2006), Palermo, I, June 5-7, 2006 Gent : EUROSIS-ETI, 2006 |