Simulation of a LIG(A) production line
Meyer, P.
; Arendt, M.; Schulz, J.
; Arendt, M.; Schulz, J.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2006 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170064737 |
| HGF-Programm | 43.01.01 (POF I, LK 01) Lithographie |
| Seiten | 442-45 |
| Erscheinungsvermerk | Genco, A. [Hrsg.] 4th Internat.Industrial Simulation Conf. (ISC'2006), Palermo, I, June 5-7, 2006 Gent : EUROSIS-ETI, 2006 |