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Structuring ceramics using lithography

Schulz, M.; Haußelt, J.; Heldele, R.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2006
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 1-57498-232-X
KITopen-ID: 170064958
HGF-Programm 43.03.02 (POF I, LK 01)
Seiten 177-85
Erscheinungsvermerk Lara-Curzio, E. [Hrsg.] Mechanical Properties and Performance of Engineering Ceramics and Composites : Proc.of the 29th Internat.Conf.on Advanced Ceramics and Composites, Cocoa Beach, Fla., January 23-28, 2005 Westerville, Ohio : American Ceramic Soc., 2005 (Ceramic Engineering and Science Proceedings ; 26,2) Auch auf CD-ROM
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