Excimer laser material processing. State of the art and new approaches in microsystem technology
Pfleging, W.
; Przybylski, M.; Brückner, H. J.
; Przybylski, M.; Brückner, H. J.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2006 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 0-8194-6149-0 KITopen-ID: 170065743 |
| HGF-Programm | 43.01.02 (POF I, LK 01) Strukturierung |
| Seiten | 61070 |
| Erscheinungsvermerk | Bachmann, F.G. [Hrsg.] Laser-based Micropackaging : Proc.of Photonics West: Lasers and Applications in Science and Technology, San Jose, Calif., January 21-26, 2006 Bellingham, Wash. : SPIE, 2006 G/1-15 (SPIE Proceedings Series ; 6107) |