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A new wireless and minaturized high-resolution optical displacement sensor

Jourlin, Y.; Parriaux, O.; Reynaud, S.; Pommier, J.C.; Johnson, M.; Last, A.; Guttmann, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2006
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 0-8194-6244-6
KITopen ID: 170066773
HGF-Programm 43.04.04; LK 01
Seiten 61881
Erscheinungsvermerk Gorecki, C. [Hrsg.] Photonics Europe 2006 : Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology ; Proc.of the Conf., Strasbourg, F, April 3-7, 2006 Bellingham, Wash. : SPIE, 2006 B/1-6 (SPIE Proceedings Series ; 6188)
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