A new wireless and minaturized high-resolution optical displacement sensor

Jourlin, Y.; Parriaux, O.; Reynaud, S.; Pommier, J. C.; Johnson, M.; Last, A.; Guttmann, M.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	2006
Sprache	Englisch
Identifikator	ISBN: 0-8194-6244-6 KITopen-ID: 170066773
HGF-Programm	43.04.04 (POF I, LK 01) Photonische Systeme
Seiten	61881
Erscheinungsvermerk	Gorecki, C. [Hrsg.] Photonics Europe 2006 : Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology ; Proc.of the Conf., Strasbourg, F, April 3-7, 2006 Bellingham, Wash. : SPIE, 2006 B/1-6 (SPIE Proceedings Series ; 6188)