Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2006 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 0-8194-6244-6 KITopen-ID: 170066773 |
HGF-Programm | 43.04.04 (POF I, LK 01) Photonische Systeme |
Seiten | 61881 |
Erscheinungsvermerk | Gorecki, C. [Hrsg.] Photonics Europe 2006 : Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology ; Proc.of the Conf., Strasbourg, F, April 3-7, 2006 Bellingham, Wash. : SPIE, 2006 B/1-6 (SPIE Proceedings Series ; 6188) |