A new wireless and minaturized high-resolution optical displacement sensor
Jourlin, Y.; Parriaux, O.; Reynaud, S.; Pommier, J. C.; Johnson, M.; Last, A.
; Guttmann, M.
; Guttmann, M.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2006 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 0-8194-6244-6 KITopen-ID: 170066773 |
| HGF-Programm | 43.04.04 (POF I, LK 01) Photonische Systeme |
| Seiten | 61881 |
| Erscheinungsvermerk | Gorecki, C. [Hrsg.] Photonics Europe 2006 : Optical Micro- and Nanometrology in Microsystems Technology ; Proc.of the Conf., Strasbourg, F, April 3-7, 2006 Bellingham, Wash. : SPIE, 2006 B/1-6 (SPIE Proceedings Series ; 6188) |