Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1) Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2007 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-0-8194-6572-6 KITopen-ID: 170067072 |
HGF-Programm | 43.01.06 (POF I, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien |
Seiten | 645911/1-9 |
Erscheinungsvermerk | Pfleging, W. [Hrsg.] Laser-based Micro- and Nanopackaging and Assembly : Proc.of Photonics West: Lasers and Applications in Science and Technology, San Jose, Calif., January 20-25, 2007 Bellingham, Wash. : SPIE, 2007 (SPIE Proceedings Series ; 6459) |