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Micro milling of high aspect ratio micro structures in ceramics

Gietzelt, T. ORCID iD icon; Eichhorn, L.; Binder, J.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3)
Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 2007
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-1904445-53-1
KITopen-ID: 170067348
HGF-Programm 43.01.02 (POF I, LK 01) Strukturierung
Seiten 191-94
Erscheinungsvermerk Dimov, S. [Hrsg.] 4M2007 : 3rd Internat.Conf.on Multi-Material Micro Manufacture, Borovets, BG, October 3-5, 2007 Dunbeath : Whittles Publ., 2007
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